Технология чистых помещений
Вильям Уайт
Изложены основные понятия техники чистых помещений и их классификации, дан обзор стандартов, рассматриваются вопросы проектирования чистых помещений, их эксплуатации.
Catégories:
Année:
2002
Editeur::
Клинрум
Langue:
russian
Pages:
151
Fichier:
DJVU, 7.93 MB
IPFS:
,
russian, 2002