Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов
Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.
М.: Металлургия, 1982. — 352 с.Изложены основы термодинамики необратимых процессов и общие закономерности кинетики гомогенных и гетерогенных процессов, в которых наиболее существенное значение имеют процессы тепло- и массопереноса в неподвижной и движущейся средах. Рассмотрены процессы получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов, а также процессы зародышеобразования, роста кристаллов и причины возникновения дефектов структуры. Даны алгоритмы и блок схемы для решения задач.Для научных работников, инженеров и студентов, занимающихся получением монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов.
Langue:
russian
Fichier:
PDF, 66.38 MB
IPFS:
,
russian0