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Електростатично Преобразуване
Technical University Sofia
μm
капацитивни
чрез
кондензатор
схема
капацитивен
кондензатора
междина
scaling
задвижване
маса
пластини
преобразуване
проницаемост
electrostatic
element
mems
voltage
диелектрична
електрод
инерционна
мемс
напрежение
преместване
преместването
спрямо
ускорението
dmd
electrodes
macro
plates
акселерометри
акселерометър
висока
греда
диференциален
еластична
задвижвания
капацитивно
кондензатори
мост
неподвижни
окачване
пластина
площ
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постига
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