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Тензорезисторно и пиезоелекрическо преобразуване –
Technical University Sofia
пиезорезистивен
чрез
mems
ефект
тензорезистори
пиезорезистивните
приложение
sensor
strain
измерване
сензори
съпротивлението
piezoresistive
sensors
ефектът
конструкция
мембрана
напрежение
пиезорезистори
акселерометри
коефициент
метален
journal
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silicon
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tactile
акселерометър
изводи
мемс
мост
налягане
недостатък
пиезорезистивни
пиезорезисторите
полупроводниците
промяната
резистор
резистори
силициева
схема
тензосъпротивления
accelerometer
actuators
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cmos
ducer
motorola
piezoresistance
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